微小型熱式氣體質量（liàng）流量計(微小流量的單一組分的幹燥氣體（tǐ）)

微小型熱式氣體質量流量計基於熱擴散原理工作。其核心部件包括一個加熱元（yuán）件和兩（liǎng）個溫度傳感器。加熱元件將傳感器（qì）加熱到一定溫度，當氣體流經傳感器時，會帶走部分熱量，導致傳感器溫度下降。通過測量（liàng）傳感器溫度（dù）的（de）變化，可以計（jì）算出氣體的質量流量